Dissertação
{en=Nano Hall Sensor for in Plane Magnetic Field Detection} {} EVALUATED
{pt=O efeito anómalo de Hall oferece um numero de características que o tornam um potencial concorrente às junções de efeito de túnel na área dos sensores. Nesta tese estudou-se a viabilidade da construção de um sensor baseado no efeito anómalo de hall. Dois processos de fabricação, para estruturas na gama dos micrómetros e dos nanómetros, foram desenvolvidos em conjunto com os devidos procedimentos auxiliares. O processo para estruturas na gama dos nanómetros revelou-se mais complicado do que esperado, mas com grande margem de possível evolução. O processo para estruturas na gama dos micrómetros permitiu entender a importância de bom alinhamento entre litografias e mostrou-se parcialmente bem sucedido. Concluiu-se que ambos os processos necessitam de melhoramentos de modo a permitirem que a camada ferromagnética seja mais fina e consequentemente satisfazer as necessidades do mercado., en=Anomalous Hall Effect offers a number of features that makes it a potential alternative spin-dependent phenomenon to tunnel junctions in the sensing applications field. In this thesis the fabrication viability of an anomalous hall effect based device was studied. Two main fabrication processes, for micron and sub-micron structures, were developed along with the necessary backup procedures. The unsuccessful sub-micron process revealed more complicated than expected, but with great room for improvement. The micron-sized process showed the importance of good alignment between lithographs and was partially successful. It was concluded that both process must be improved to allow smaller ferromagnetic layer thicknesses, in order to meet market requirements. }
novembro 6, 2009, 16:0
Orientação
