Programa

Tecnologias a Plasma para Processamento de Materiais

Mestrado Integrado em Engenharia Física Tecnológica

Programa

I. Introdução geral Introdução Características gerais dos plasmas de descarga II. Reactores a plasma para o processamento de materiais Esquema geral de um reactor a plasma Classificação geral dos reactores a plasma III. Reactores capacitivos de radio-frequência Características de operação Análise das bainhas de carga de espaço Modelo homogéneo 1D duma descarga ccrf Circuito de acoplamento Potência acoplada ao plasma Dinâmica dos iões nas bainhas IV. Reactividade em plasmas Estrutura energética de átomos e moléculas Colisões atómicas e moleculares Equações de balanço V. Reactividade plasma-superfície Processamento de materiais a plasma: classificação e exemplos Interacção plasma-superfície: mecanismos gerais Processos de gravura, deposição, sputtering VI. Modelização de reactores a plasma Modelos de plasma de descarga Equações tipo fluido Exemplo de aplicação. Modelização de um reactor rf de acoplamento capacitivo, usado em pecvd de a-Si:H