Dissertação
Controlled shaping of functional microstructures EVALUATED
Sensores magnetoresistivos flexíveis que exibem Magnetoresistência Gigante (GMR) foram investigados para demonstrar conformação tubular. Os sensores (válvulas de spin - SV) são estruturas funcionais capazes de detetar pequenos campos magnéticos, alterando a sua resistência à passagem de uma corrente polarizada em configuração plana e tubular. O fabrico destes dispositivos e conseguido através da adaptação de processos já otimizados para substratos rígidos típicos (vidro, bolacha de Si) com base na deposição por magnetron sptuterring e padronização por litografia ótica. A conformação tubular foi obtida por moldagem térmica com moldes cilíndricos de dois raios diferentes. Amostras com uma matriz de dez SV foram padronizadas em estruturas de geometria retangular, altura (h) × largura (w) em substratos de poli (tereftalato de etileno) (PET). Os dispositivos padronizados foram caracterizados em termos da sua resposta de magnetotransporte após fabricação e depois do processo de moldagem. Análise da morfologia de superfície das estruturas via microscopia eletrónica de varrimento (SEM) foi igualmente realizada nestes checkpoints. As amostras fabricadas exibiram MR ≈ 4.5 - 5 % e campos predominantemente coercivos: Hc ≈ 20 Oe, mas campos de 1 Oe foram atingidos. Analises SEM da superfície das estruturas das sucessivas gerações de amostras fabricadas, revelaram uma evolução clara do processo de fabrico. Boa definição de arestas, menor densidade de defeitos, menos resíduos de liftoff e perfil constante dos sensores SV são indicadores desta evolução. A conformação tubular foi conseguida a TMold = 100 °C durante 20 minutos.
novembro 12, 2018, 10:0
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