Disciplina Curricular

Tecnologias a Plasma para o Processamento de Materiais TPPM

Mestrado Bolonha em Engenharia Física Tecnológica - MEFT 2021

Contextos

Grupo: MEFT 2021 > 2º Ciclo > Opções Livres > Grupo 1

Período:

Peso

6.0 (para cálculo da média)

Objectivos

Oferecer formação específica na área das tecnologias de plasma, correntemente utilizadas no processamento de materiais. Permitir um contacto dos alunos com várias configurações de reactores a plasma, garantindo-lhes formação especializada que os torne aptos a: - compreender o seu funcionamento básico - abordar a sua modelização preditiva - manipular alguns reactores a plasma, para processamento de materiais

Programa

1. Introdução - Características gerais dos plasmas de descarga - Reatores a plasma para o processamento de materiais: esquema e classificação geral 2. Reatores capacitivos de radio-frequência - Características de operação - Análise das bainhas de carga de espaço - Modelo homogéneo 1D duma descarga ccrf - Circuito de acoplamento - Potência acoplada ao plasma - Dinâmica dos iões nas bainhas - Exemplo de aplicação: pecvd de a-Si:H 3. Processamento com plasmas reativos - Processamento de materiais a plasma: classificação e exemplos - Interações em volume: mecanismos colisionais e equações de balanço - Interação plasma-superfície: mecanismos gerais - Processos de gravura, deposição, sputtering

Metodologia de avaliação

Seminários realizados pelos alunos (40%), sobre tópico proposto no início do trimestre 2 séries de problemas (30%), realizadas durante o trimestre 1 trabalho de laboratório (30%), realizado no INESC-MN

Componente de Competências Transversais

Desenvolvimento de competências interpessoais, nas componentes de avaliação de seminário (que envolve comunicação oral) e de laboratório (que envolve trabalho em equipa). Desenvolvimento de competências intrapessoais, ao nível organizacional e de metodologia (o trabalho de laboratório é realizado em dia(s)/hora(s) proposto por cada grupo de alunos e coordenado com a equipa do INESC-MN). 10% das componentes de avaliação

Componente Laboratorial

Realização de 1 trabalho de laboratório em grupo (máximo 2-3 alunos), utilizando dispositivos experimentais do INESC-MN (http://www.inesc-mn.pt), e elaborando um relatório sucinto. Alguns exemplos de trabalhos que exploram a reatividade de plasmas para o processamento de materiais são: - Deposição de filmes finos por PECVD (em ambiente de sala limpa) - Deposição de filmes finos magnéticos usando um magnetrão para sputtering - Gravura iónica reativa (RIE) utilizando um reator ICP - Gravura de filmes finos com feixe iónico de radio-frequência (ion beam milling)

Componente de Programação e Computação

NA

Princípios Éticos

Todos os membros de um grupo são responsáveis pelo trabalho do grupo. Em qualquer avaliação, todo aluno deve divulgar honestamente qualquer ajuda recebida e fontes usadas. Numa avaliação oral, todo aluno deverá ser capaz de apresentar e responder a perguntas sobre toda a avaliação.

Disciplinas Execução

2021/2022 - 1º Semestre