Disciplina Curricular
Tecnologias a Plasma para o Processamento de Materiais TPPM
Mestrado Bolonha em Engenharia Física Tecnológica - MEFT 2021
Contextos
Grupo: MEFT 2021 > 2º Ciclo > Opções Livres
Período:
Peso
6.0 (para cálculo da média)
Pré-requisitos
Para alcançar os objetivos de aprendizagem esperados, os estudantes devem ter conhecimentos prévios de cálculo diferencial e integral.
Objectivos
Oferecer formação específica na área das tecnologias de plasma, correntemente utilizadas no processamento de materiais. Permitir um contacto dos alunos com várias configurações de reactores a plasma, garantindo-lhes formação especializada que os torne aptos a: - compreender o seu funcionamento básico - abordar a sua modelização preditiva - manipular alguns reactores a plasma, para processamento de materiais
Programa
1. Introdução - Características gerais dos plasmas de descarga - Reatores a plasma para o processamento de materiais: esquema e classificação geral 2. Reatores capacitivos de radio-frequência - Características de operação - Análise das bainhas de carga de espaço - Modelo homogéneo 1D duma descarga ccrf - Circuito de acoplamento - Potência acoplada ao plasma - Dinâmica dos iões nas bainhas - Exemplo de aplicação: pecvd de a-Si:H 3. Processamento com plasmas reativos - Processamento de materiais a plasma: classificação e exemplos - Interações em volume: mecanismos colisionais e equações de balanço - Interação plasma-superfície: mecanismos gerais - Processos de gravura, deposição, sputtering
Metodologia de avaliação
Seminários realizados pelos alunos (40%), sobre tópico proposto no início do trimestre 2 séries de problemas (30%), realizadas durante o trimestre 1 trabalho de laboratório (30%), realizado no INESC-MN
Componente de Competências Transversais
Desenvolvimento de competências interpessoais, nas componentes de avaliação de seminário (que envolve comunicação oral) e de laboratório (que envolve trabalho em equipa). Desenvolvimento de competências intrapessoais, ao nível organizacional e de metodologia (o trabalho de laboratório é realizado em dia(s)/hora(s) proposto por cada grupo de alunos e coordenado com a equipa do INESC-MN). 10% das componentes de avaliação
Componente Laboratorial
Realização de 1 trabalho de laboratório em grupo (máximo 2-3 alunos), utilizando dispositivos experimentais do INESC-MN (http://www.inesc-mn.pt), e elaborando um relatório sucinto. Alguns exemplos de trabalhos que exploram a reatividade de plasmas para o processamento de materiais são: - Deposição de filmes finos por PECVD (em ambiente de sala limpa) - Deposição de filmes finos magnéticos usando um magnetrão para sputtering - Gravura iónica reativa (RIE) utilizando um reator ICP - Gravura de filmes finos com feixe iónico de radio-frequência (ion beam milling)
Componente de Programação e Computação
NA
Princípios Éticos
Todos os membros de um grupo são responsáveis pelo trabalho do grupo. Em qualquer avaliação, todo aluno deve divulgar honestamente qualquer ajuda recebida e fontes usadas. Numa avaliação oral, todo aluno deverá ser capaz de apresentar e responder a perguntas sobre toda a avaliação.