Disciplina Curricular

Técnicas de Micro e Nanofabricação TMN

Mestrado Bolonha em Engenharia Física Tecnológica - MEFT 2021

Contextos

Grupo: MEFT 2021 > 2º Ciclo > Área Principal > Opções

Período:

Peso

6.0 (para cálculo da média)

Objectivos

Oferecer formação experimental em técnicas de micro e nanofabricação. Apresentar os diversos módulos necessários para construir nanoestruturas e dispositivos. Dar acesso a uma infraestrutura experimental onde os alunos possam compreender as técnicas descritas nas aulas através da prática experimental na Sala Limpa (ISO 4/5) do INESC-MN.

Programa

I. Salas Limpas: especificações técnicas, regras de segurança, classificação (ISO). II. Técnicas de litografia. Resolução e dimensões mínimas. Escrita directa, alinhamento multinível, máscaras de software e máscaras duras. III. Técnicas de transferência de padrões: Subtractivas (“Etching”) e Aditivas (“Lift-off:”) - dimensões e materiais, perfil da máscara e das estruturas definidas. IV. Técnicas de vácuo: princípios e tecnologias. V. Deposição de filmes finos metálicos e dieléctricos: pulverização catódica (PVD), feixe iónico (IBD), deposição por vapor (CVD), evaporação, electrodeposição. Metrologia de controlo dos processos. Requisitos da indústria. VI. Técnicas de planarização local e global. Aplicação a arquitecturas de memórias MRAM e CMOS. VII. Requisitos da indústria. Produção em grande escala, controlo de qualidade. Metrologia em nano e microestruturas. VIII. Microsistemas para integração com fluidos: fabrico de microcanais, selagem irreversivel. Aplicação em biosensores

Metodologia de avaliação

(i) 2 testes escritos (20%+20%). (ii) Trabalho experimental semanal na Sala Limpa do INESC MN, em grupos de 3-4 alunos. Avaliação através de um questionário on-line a preencher após cada sessão laboratorial e relatório final descrevendo o processo realizado (40%). (iii) Discussão oral da arquitectura do dispositivo e do seu processo de microfabricação (20%).

Componente de Competências Transversais

Desenvolvimento de espírito crítico e estratégico (aplicado na análise da arquitectura do dispositivo, e no planeamento dos passos de microfabricação) Desenvolvimento de competências interpessoais nas componentes de avaliação (envolvendo discussão oral, relatório escrito e trabalho de equipa). Desenvolvimento de competências intrapessoais, ao nível organizacional e metodologia: o trabalho laboratorial é coordenado com o INESC MN e é necessário partilhar máquinas, processos, o que implica gestão do tempo e tomadas de decisão coordenadas com a metrologia. Utilização de ferramentas multimedia (para fazer a apresentação final, e para responder aos questionários on-line em cada sessão laboratorial) 60% das componentes de avaliação.

Componente Laboratorial

Realização de uma sessão laboratorial semanal (em groupos de 3-4 students), na infraestrutura de Sala Limpa do INESC MN (http://www.inesc-mn.pt), para microfabricar um dispositivo. A sequência de técnicas usadas, assim como a respectiva metrologia para controlo de qualidade serão compiladas num relatório escrito (RunSheet). A componente laboratorial representa 40% da avaluação.

Componente de Programação e Computação

NA

Princípios Éticos

Todos os membros de um grupo são responsáveis pelo trabalho do grupo. Em qualquer avaliação, todo aluno deve divulgar honestamente qualquer ajuda recebida e fontes usadas. Numa avaliação oral, todo aluno deverá ser capaz de apresentar e responder a perguntas sobre toda a avaliação.

Disciplinas Execução