Disciplina Curricular

Tecnologias a Plasma para Processamento de Materiais TPPM

Mestrado Integrado em Engenharia Física Tecnológica - MEFT 2017

Contextos

Grupo: MEFT 2017 > 2º Ciclo > Opções

Período:

Peso

6.0 (para cálculo da média)

Objectivos

Oferecer formação específica na área das tecnologias de plasma, correntemente utilizadas no processamento de materiais. Permitir um contacto dos alunos com várias configurações de reactores a plasma, garantindo-lhes formação especializada que os torne aptos a: - compreender o seu funcionamento básico - abordar a sua modelização preditiva - propor novos tipos de dispositivos - manipular alguns reactores a plasma, para processamento de materiais PRÉ-REQUISITOS: Para alcançar os objetivos de aprendizagem esperados, os estudantes devem ter conhecimentos prévios de cálculo diferencial e integral.

Programa

I. Introdução geral Introdução Características gerais dos plasmas de descarga II. Reactores a plasma para o processamento de materiais Esquema geral de um reactor a plasma Classificação geral dos reactores a plasma III. Reactores capacitivos de radio-frequência Características de operação Análise das bainhas de carga de espaço Modelo homogéneo 1D duma descarga ccrf Circuito de acoplamento Potência acoplada ao plasma Dinâmica dos iões nas bainhas IV. Reactividade em plasmas Estrutura energética de átomos e moléculas Colisões atómicas e moleculares Equações de balanço V. Reactividade plasma-superfície Processamento de materiais a plasma: classificação e exemplos Interacção plasma-superfície: mecanismos gerais Processos de gravura, deposição, sputtering VI. Modelização de reactores a plasma Modelos de plasma de descarga Equações tipo fluido Exemplo de aplicação. Modelização de um reactor rf de acoplamento capacitivo, usado em pecvd de a-Si:H

Metodologia de avaliação

Seminários realizados pelos alunos (50%). Séries de entrega obrigatória (25%) com nota mínima de 7 valores em cada série. Trabalhos de laboratório (25%) a realizar no INESC-MN (nota mínima de 7 valores em cada trabalho).

Disciplinas Execução

2018/2019 - 2ºSemestre

2017/2018 - 2ºSemestre