Disciplina Curricular
Complementos de Microtecnologias CMic
Diploma de Estudos Avançados em Engenharia Física Tecnológica - DEAEFT2017
Contextos
Grupo: DEAEFT2017 > 3º Ciclo > Opções > Física da Matéria Condensada e Nanotecnologias
Período:
Peso
7.5 (para cálculo da média)
Objectivos
Apresentar aos alunos as tecnologias de micro e nanofabricação utilizadas no fabrico de circuitos integrados, biosensores, cabeças de gravação e microsistemas avançados. Os tópicos abordados nas aulas são complementados com a realização de trabalhos na Sala Limpa do INESC MN (classe ISO 4/5), onde os alunos podem implementar um processo de micro/nanofabricação de um dispositivo que apoie os seus trabalhos de investigação.
Programa
1) Desafios tecnológicos para as técnicas de litografia: óptica, laser, feixe de electrões, feixe iónico. Escrita directa, alinhamento multinível, máscaras de software e duras, nanoimprint e litografia soft. Requisitos da indústria. 2) Técnicas de micromaquinação para estruturas MEMS. Processos de remoção a plasma. Definição de estruturas 3D com elevados factores de forma. Integração de estruturas em ambos os lados das bolachas. 3) Deposição de filmes finos metálicos e dieléctricos: pulverização catódica (PVD), feixe iónico (IBD), deposição por vapor (CVD), evaporação, electrodeposição. Metodologias para controlo de qualidade e metrologia. Requisitos da indústria. 4) Microfabricação em substratos flexíveis e elásticos. Elastómeros, polímeros e poliamida. 5) Microsistemas para fluidos: microcanais, materiais (PDMS, vidro, SU8), técnicas para selagem irreversivel entre superfícies, moldes. 6) Metodologias e processos usados na indústria de gravação magnética, biossensores e microsistemas.
Metodologia de avaliação
Esta UC envolve um conjunto de metodologias de ensino, que serão uma base de trabalho para as áreas de Física Aplicada relevantes: - Durante as aulas teóricas descrevem-se e discutem-se várias técnicas experimentais e respetivos princípios físicos. - Os alunos aplicam os conhecimentos na Sala Limpa, ao realizar as etapas de micro-fabricação de um dispositivo com interesse para o tópico da tese de doutoramento de cada aluno. São expostos a várias técnicas experimentais, e métodos, e incentivados a analisar os processos individualmente. Nos relatórios, cada grupo mostra conhecimento sobre os processos e metodologias para implementação de uma solução funcional/viável. - Apresentação do processo de fabrico numa apresentação oral onde são questionados pelos critérios de validação de cada passo do processo, e de integração do dispositivo na aplicação final.